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v 光源:375 nm、385 nm、405 nm 激光器
v 线宽:0.5μm、0.6μm、1.0μm、1.5μm
v 光刻效率:3000mm2/min@5μm
v XY行程:55~205mm
v 样品尺寸:最小3mm*3mm 8 inch
v 应用领域:生物芯片、功率芯片光刻、掩膜版制造、3D衍射光学元件、芯片封装、光通讯芯片光刻
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