简要描述：v主要功能：快速热退火，快速热氧化，快速热氮化，扩散，化合物半导体退火，离子注入后退火，电极合金化等v样片尺寸：8inch，向下兼容，支持不规整样品退火v退火温度范围：室温~1200℃

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