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低压化学气相沉积系统LPCVD

简要描述:v满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求v直径200毫米的石英室v内部石英管的设计便于拆卸和清洗v基片尺寸可达直径150毫米v三区电阻炉

基础信息

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更新时间

2024-10-22

浏览次数

20
详细介绍

v 满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求

v 直径200毫米的石英室

v 内部石英管的设计便于拆卸和清洗

v 基片尺寸可达直径150毫米

v 三区电阻炉,150毫米的均匀温度区

v 温度可达1000°C

v 使用节流型VAT蝶形阀下游压力控制在50 mTorr500 mTorr之间

v 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 两级干式真空


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