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晶圆甩干机

简要描述:v晶圆甩干机系高洁净度的冲洗旋干设备

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

11
详细介绍

v 晶圆甩干机系高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构

v 产品类型:有立式单腔,双腔晶圆甩干机(2-12),水平多工位甩干机(2-12)

v 单次甩干数量1-25

v 作业程序:冲洗、烘干的步骤顺序、时间、 转速等可分段编辑,(可设 recipe 10 个)


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