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v 本套系统主要用于材料表面形貌的观察；平面或三维测量。可采用3D观测模式，对被测物形状，粗糙度，表面积等进行测量，可以做高度，宽度，横截面，角度，R值，表面积，体积，线粗糙度，面粗糙度等的测量分析。同时可以做材料断口、金相的观测,陶瓷，微流道，微加工，现代加工制造,MEMS研究，微纳制造等
v 光源类型：≤404nm半导体激光
v X/Y方向测量显示分辨率：1nm
v Z向测量显示分辨率：0.5 nm
v 面扫描速度：≥125Hz、线扫描速度：≥7900Hz
v 角度特性：稳定测量倾角≥87.1度的斜面
v XY载物台电动运行范围：≥100mm*100mm
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