简要描述：v兼容基底尺寸：直径≤100mmv支持基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等v纳米压印技术：旋涂胶基底高精度压印点胶自动找平压印、旋涂胶基底压印、点胶自动找平压印模式v压印精度：优于10nmv结构深宽比：优于10：1v残余层控制：可小于10nm微米级TTV控制精度v紫外固化光源：紫外LED（365nm）面光源

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