产品中心

Product

当前位置:首页  /  产品中心  /    /    /  Nikon EX14C步进式光刻机

Nikon EX14C步进式光刻机

简要描述:NikonEX14C1

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

10
详细介绍

Nikon EX14C

1.Nikon EX14C步进式光刻机

光源波长248nm

分辨率优于0.25µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.25µm

N.A.0.6

曝光光源248nm

倍率5:1

曝光现场22mm*22mm

对准精度

LSA:55nm

FIA:65nm

3.更多服务

提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材



在线留言

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

18319843923
18319843923

扫码加微信

Baidu
map