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Nikon NSR G线光刻机

简要描述:NikonNSRG线光刻机1

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

8
详细介绍

Nikon NSR G线光刻机

1.Nikon NSR G线步进式光刻机

光源波长436nm

分辨率优于0.65µm

主要用于2寸、4寸、6寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.65µm

N.A.0.6

曝光光源436nm

倍率5:1

曝光现场15mm*15mm

17.5mm*17.5mm

对准精度140nm

3.更多服务

提供中英文软件及2"、4"、6"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材






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