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v 为了对样品内部结构进行观察、分析，必须让样品内部结构显露出来，日立离子研磨装置使用大面积低能量的Ar离子束，加工出无应力损伤的截面，为SEM观察样品的内部多层结构、结晶状态、 异物解析、层厚测量等提供有效的前处理方法
v 制成的低损伤的截面便于表层以下内部结构分析
v 适用样品：电子元件如IC芯片、PCB、LED等（多层、裂
v 痕、孔洞分析）、金属（EBSD晶体结构、EDS元素分析、镀 层）、高分子材料、纸、陶瓷、玻璃、粉末等
v 可移动的样品座可精确定位、实现对特定位置的研磨
v 样品: 宽20 mm× 长12 mm× 厚7 mm
v 联用样品台在机械研磨、离子研磨、SEM观察（Hitachi机型）之间不用更换样品台
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扫描隧道显微镜
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