简要描述：v在宽广的阻抗范围内提供0.65%的基本准确度

v 在宽广的阻抗范围内提供 0.65% 的基本准确度。可以选配材料测量选件以执行温度特征分析，并能够直接得到介电常数和导磁率读数，是表征和评测电子元器件、半导体器件和材料的理想方案

v 3 种可升级的频率选件：1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz

v ±0.65% 基本准确度和 120 mΩ 至 52 kΩ 阻抗范围

v 测量参数：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1（1. 需要选件 001）

v 内置直流偏置（选件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA

v 数据分析功能：等效电路分析、极限线测试

v 介电/磁性材料测量（选件 002）：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)

v 提供温度特征测量（选件 007）和可靠的晶圆上测量（选件 010）

v 提供温度特征分析功能，并能够直接得到介电常数和导磁率的读数

v 探头台连接套件（选件 010）可以在高达 3 GHz 的频率范围内提供准确的晶圆上或微型元器件阻抗测量解决方案