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v 同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)
v 超宽加速电压范围:100eV 到 10kV,不同加速电压下,离子束束斑均保持最细束斑状态
v 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测
v 采用可调节10英寸触屏控制系统,人机界面友好,操作简洁
v 自动独立气源控制
v 减薄角度范围:-15°~+10°连续可调
v 样品载台X-Y可调,可根据需要调整样品减薄位置
v 具备原位实时观察及记录减薄过程功能
v 样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样品夹
v 可通过时间、温度以及透光性自动停止
v 可选液氮冷台配置,去除热效应对样品的损伤
v 可选真空或惰性气体转移装置,隔绝样品与水氧接触