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扫描电子显微镜
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Verios 是 FEI 的 XHR(分辨率)SEM 系列的第二代产品。在半导体制造和材料科学应用中,它可在 1 至 30 kV 范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度,满足材料精密测量所需,同时又不会削弱传统扫描电子显微镜 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、样本灵活性和易用性等优势。
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